在Ｘ熒光分析儀中主要分為能量色散與波長色散分析技術。

    能量色散方法

    能量色散分析儀只有一個探測器，它對測量Ｘ射線能量范圍是不受限制的，而且這個探測器能同時測量到所有能量的Ｘ射線。也就是說只要激發樣品的Ｘ射線的能量和強度能滿足激發所測樣品的條件，對一組分析的元素都能同時測量出來。一般有以下三種基本類型的探測器可用于測量Ｘ射線：密封式或流氣式充氣探測器、閃爍探測器、半導體探測器。

    能量色散的條件是當樣品被激發后產生的Ｘ射線通過窗口進入探測器探測器把Ｘ射線能量轉換成電荷脈沖，每個Ｘ射線光子在探測器中生成的電荷與該光子的能量成正比。該電荷被轉換成電壓脈沖，當這些電壓脈沖經充分放大后，被送入脈沖處理器，脈沖處理器把這些代表著各個元素的模擬信號再轉換成為數字信號，由計算機進行分類，分別存入多道分析器（ＭＣＡ）的相應通道內，一般使用１０２４－２０４８道ＭＣＡ。這些通道覆蓋了分析的整個能量范圍。

    波長色散系統

    波長色散系統分析儀是用多個衍射晶體分開待測樣品中各元素的波長，由此對元素進行測量。晶體被安裝在適當位置，以滿足布拉格定律的要求。

    Ｘ射線熒光分析和其它光譜分析一樣，也是一種相對分析。這就是說，要有一套參考標樣，這些參考標樣能夠在可能感興趣的范圍內覆蓋所測元素。首先對這些標樣進行測量，記錄欲分析元素的強度，建立濃度（含量）、強度（ＣＰＳ）校準曲線，存入處理數據的計算機，供以后分析同一類型未知樣品時使用。

    最簡單的校準線是直線，強度與濃度的依賴關系反映儀器的靈敏度。

    另外由于校準線要在很長一段時間內使用，所以應對儀器的漂移作出調整，盡管這種漂移不大，但它確實存在。這可以通過對每個分析元素選用高、低兩個參考點來實現。制備若干被稱作ＳＵＳ（調整樣）的特殊樣品，它們含有適量的分析元素，有很好的長期穩定性。利用它們可以求出高、低強度值。實際上大型波散分析儀在國外均化非常好，原料穩定的水泥生產企業常常使用這種校準方法，我國少數條件好的企業也采用了這一簡單的方法，效果比較好。

    對于我國大型水泥生產企業和原料來源基本穩定均化較好的生產線，用能量色散型儀器也能較好地解決檢測分析問題。

    實際上在我國水泥生產企業推廣應用ＸＲＦ技術從總體上看不是很成功，除了少數幾個企業使用的基本發揮作用外，絕大多數都沒有發揮作用，甚至我國水泥行業中形成了一種定論：只有波長色散系統能解決水泥生產行業的分析問題，能量色散不能解決或不適應水泥行業應用。我國水泥行業是一種有中國自己特色的行業。首先從規模、條件、發展、歷史方面都是無法同國際上的水泥行業相比，只有少數生產線可以相比。國際上知名的能量色散儀器經過嘗試也都先后退出了中國水泥行業。歸根結底是沒有真正認識和解決好基體效應和顆粒度效應的干擾。在校正曲線的樣品制備方面，嚴重缺乏科學性、實用性、準確性，導致最原始的參考標樣不能適用于未知樣品的分析，從而否定和懷疑最適合我國水泥行業推廣應用的能散Ｘ熒光分析儀。這里要強調的是能量色散型Ｘ分析儀沒有行業規范進行專項檢驗，長期以來一批同位素激發的Ｘ熒光分析儀和不成熟的Ｘ光管激發的Ｘ熒光分析儀進入水泥行業的分析工作中，造成了一定的影響。

    隨著ＩＳＯ標準的深入貫徹，Ｘ熒光分析儀應快速進入到水泥行業中來，以取代以往傳統的、落后的化學分析方法。